微波通常由直流电或50Hz交流电通过一特殊的器件来获得。产生微波的器件主要分为两大类：半导体器件和电真空器件。
电真空器件是利用电子在真空中运动来完成能量变换的器件，或称之为电子管。在电真空器件中能产生大功率微波能量的有磁控管、多腔速调管、微波三、四极管、行波管等。在目前微波加热领域特别是工业应用中使用的主要是磁控管及速调管。
微波烘干设备的特点：
1、烘干速度快、时间短。
2、加热升温时间快，无须预热。微波加热物料，可使吸收微波物料在很短的时间内达到所需的烘干温度。
3、热效率高。微波在加热的过程中，是对物料内、外同时加热，且微波直接作用于物料，因此，微波加热热效率高于常规的加热设备。
