应用
· 一般实验室应用
· 光谱学
· 表面分析
· 小型镀膜系统
· 真空涡轮制造
特性与优势
· 完全组装，随时可用
· 通过集成的控制器控制涡轮泵、前级泵和可选的真空计
· NW40、ISO63 或 CF63 入口法兰
· 选择前级泵、E2M1.5 油封泵 T-Station 75W 或 XDD1 隔膜泵 T-Station 75D
· 延时涡轮启动选件，以便泵送更大容量
技术数据
|
N2 抽速 |
|
|
NW40 |
42 ls-1 |
|
ISO63/CF63 |
61 ls-1 |
|
N2 压缩比 |
>1 x 1011 |
|
50Hz 时的前级泵速度 |
|
|
E2M1.5 |
1.6 m3h-1 |
|
XDD1 |
1.2 m3h-1 |
|
极限压力 |
<5 x 10-8 mbar |
|
进气口法兰 |
NW40、ISO63 或 CF63 |
|
排气口法兰 |
|
|
E2M1.5 |
11mm OD 喷嘴或 3/8 英寸 BSP |
|
XDD1 |
装配消音器或 1/8 英寸 BSP |
|
重量 |
|
|
E2M1.5 |
22 kg / 48 lb |
|
XDD1 |
18 kg/40 lb |
|
噪音级别 |
55.4 dB(A) |
|
密封性 |
<1 x 10-6 mbar ls-1 |
|
工作温度范围 |
10 至 40°C/50 至 104°F |
